የኬሚካል ማጣሪያ
በብዙ ፋብሪካዎች ውስጥ በኢንዱስትሪ አካባቢ ውስጥ የዝገት እና ሽታ ብክለት ችግር. በአንድ ነጠላ ምክንያት የተከሰተ አይደለም እና በአንድ መፍትሄ ሊፈታ አይችልም.
የኤስኤምኤል መደበኛ F21-95 ማይክሮኤሌክትሮኒካዊ የጽዳት ክፍሎችን ከኤርቦር ሞለኪውላር ብክለት (AMC) ደረጃዎች አንጻር የመከፋፈል ዘዴን ይሰጣል። ይህ ለጋዝ መበከሎች ነው፣ ከፌዴራል ደረጃ 209E ጋር ተመሳሳይነት ላለው የብክለት ብክለት።SEMstandard F21-95 ንፁህ ክፍልን በጋዝ-ፈሳሽ ተላላፊ ምድብ እና ለእያንዳንዱ ምድብ በሚፈቀደው የማጎሪያ ደረጃ ላይ በመመስረት ይመድባል።
አራቱ የጋዝ-ደረጃ ብክለት ዓይነቶች፡-
1. አሲድ (ምድብ A):
እንደ አሲድ (ኤሌክትሮና ተቀባይ) በኬሚካል ምላሽ የሚሰጡ ጎጂ ጋዞች
2.Bases(ምድብ ለ)፡- በኬሚካላዊ መልኩ እንደ ቤዝ (የኤሌክትሮን ለጋሽ) ምላሽ የሚሰጡ የሚበላሹ ኳሶች
3.Condensables (ምድብ ሐ)፡- የፈላ ነጥባቸው ከክፍል ሙቀት በላይ የሆኑ እና በዋፈር ወለል ላይ መጠቅለል የሚችሉ ብከላዎች።
4. ዶፓንቶች (ምድብ መ)
የሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ የኤሌክትሪክ ባህሪያትን የሚቀይሩ ብከላዎች.
የ SEMl F21-95 ምደባ በ 'M' ፊደል ተለይቷል ፣ በምድብ ንድፍ አውጪው ፣ ከዚያም የሚፈቀደው የብክለት ክምችት በከፊል በትሪሊዮን(ppt)። ፎሌክሳምፕ፣ የ MA-10 ምደባ በክፍሉ አየር ውስጥ ከጠቅላላው የአሲድ ጋዞች 10 ppt ከፍተኛ የሚፈቀደው ትኩረት ያለው ነው።
የአየር ወለድ ሞለኪውላዊ ብክለት ምደባ
| የቁሳቁስ ምድብ |
1 ፒ.ፒ |
10 ፒ.ፒ |
100 ፒ.ፒ |
1,000 ppt |
10,000 ppt |
| አሲዶች |
MA-1 |
MA-10 |
MA-100 |
MA-1000 |
MA-10,000 |
| መሠረቶች |
ሜባ-1 |
ሜባ-10 |
ሜባ-100 |
ሜባ-1000 |
ሜባ-10,000 |
| ኮንደንስ |
MC-1 |
MC-10 |
MC-100 |
MC-1000 |
MC-10,000 |
| ዶፓንቶች |
MD-1 |
MD-10 |
MD-100 |
MD-1000 |
MD-10,000 |
'SEMlF21-95: የአየር ወለድ ሞለኪውላር ብክለት ደረጃዎችን በንፁህ አከባቢዎች መለየት' .1 ppb=1,000 ppt, እና 1ppm=1,000,000 ppt.
የሚፈቀደው የኤኤምሲ (የአየር ወለድ ሞለኪውላር ብክሎች) ትኩረት የሚወሰነው በንፁህ ክፍል ፣ በጥቅም ላይ ባለው ሂደት እና በተቀጠሩ መሳሪያዎች ላይ ነው።
የታቀደው የኤኤምሲ ገደቦች ለ 0.25 um ሂደት
| የሂደቱ ደረጃ |
MAX ተቀምጠው ጊዜ |
MA(ppt) |
ሜባ (ppt) |
ኤምሲ (ppt) |
ኤምዲ (ppt) |
| ቅድመ-ጌትኦክሲዴሽን |
4 ሰአት |
13,000 |
13,000 |
1,000 |
0.1 |
| ሳሊሲዲሽን |
1 ሰአት |
180 |
13,000 |
35,000 |
1,000 |
| የእውቂያ ምስረታ |
24 ሰአት |
5 |
13,000 |
2,000 |
100,000 |
| DUV ፎቶግራፊ |
2 ሰአት |
10,000 |
1,000 |
100,000 |
10,000 |
በንፁህ ክፍል ውስጥ የተለመዱ ብከላዎች እና ማጎሪያዎች
| ምድብ |
ብክለት |
ማጎሪያ፣ ፒ.ፒ.ቲ ዝቅተኛ ከፍተኛ |
አሲዶች |
ሃይድሮክሎሪክ አሲድ |
20,000 |
400,000 |
| ሃይድሮፍሎሪክ አሲድ |
40,000 |
250,000 |
| ናይትሪክ አሲድ |
20,000 |
250,000 |
| ሰልፈሪክ አሲድ |
10,000 |
300,000 |
| ፎስፈረስ አሲድ |
10,000 |
400,000 |
| አሴቲክ አሲድ |
10,000 |
250,000 |
| ናይትሮጅን ዳይኦክሳይድ |
30,000 |
300,000 |
| ሰልፈር ዳይኦክሳይድ |
10,000 |
150,000 |
መሠረቶች |
አሞኒያ |
10,000 |
200,000 |
| NMP |
20,000 |
300,000 |
ኮንደንስ |
አሴቶን |
20,000 |
500,000 |
| ቶሉይን |
10,000 |
250,000 |
ዶፓንቶች |
ቦሪ አሲድ |
ኤን.ዲ |
200,000 |
| ፎስፈረስ ኦውስ |
ኤን.ዲ |
5,000 |
| አርሲን |
ኤን.ዲ |
50,000 |
ሽታ እና ጋዝ ብክለትን ለመቆጣጠር አራት ዋና ዋና ቴክኒኮች፡- ጭምብል፣ ማቃጠል፣ አየር ማናፈሻ እና ማስወገድ።የሚዲያ እንክብሎች የጋዝ መበከልን በ adsorp-tion እና oxidation ለመቆጣጠር ያገለግላሉ።
ብናኝ ነገሮችን፣ጋዝ እና ትነት ውህዶችን በማስወገድ አየርን ለማጥራት የከፊል ማጣሪያዎች በማይፈለጉ ጋዞች እና ትነት ላይ ውጤታማ አይደሉም።
ጋዝ ወይም ፈሳሽ ሞለኪውሎች የአድሶርበንት ወለል ላይ ሲደርሱ እና ምንም አይነት ኬሚካላዊ ምላሽ ሳይኖራቸው ሲቀሩ ክስተቱ ፊዚካል አድሶርፕሽን ወይም ፊዚሶርፕሽን ይባላል።
ካርቦን ከሌሎች ኬሚካሎች ጋር በመተከል አንዳንድ ዝቅተኛ የመለጠጥ አቅም ያላቸውን ጋዞች ባልታከመ ካርቦን ለማሻሻል ይቻላል.እነዚህ ኬሚካሎች የተበከለውን ትኩረትን ለመቀነስ ከጋዞች ጋር ምላሽ ይሰጣሉ.
ልዩ ጋዞችን ለመሰረዝ ሌላኛው መንገድ እነሱን መያዝ እና ምላሽ መስጠት ነው.ይህ ሂደት ኬሚሶርፕሽን ይባላል.
ብዙ ተጓዳኝ ቁሳቁሶች ይገኛሉ ፣እያንዳንዳቸው ለተወሰኑ ትነት ልዩ ቅርበት አላቸው።
የካርቦን መጠን እየቀነሰ ሲሄድ የመሬቱ ስፋት ጨምሯል። ምንም እንኳን የካርቦን ብናኝ ቢሆንም የንጥረቱ መጠን በጣም ትንሽ ሊሆን ይችላል። እንዲሁም ወደ አየር እንፋሎት የመግባት ችግርን ይፈጥራል ወይም በጥብቅ ማሸግ ከፍተኛ ግፊት እንዲቀንስ አድርጓል። በጣም ጥሩው መጠን በሙከራ መወሰን አለበት።
በሞለኪውላዊ ብክለት ስርዓት፣የመጀመሪያው የብክለት ማስወገጃ ቅልጥፍና በክብደት፣በካርቦን ቅንጣት እና በካርቦን እንቅስቃሴ ላይ የተመካ አይደለም።ጠቅላላ የገጽታ ስፋት እና የገጽታ ኬሚስትሪ የመጀመሪያ ቅልጥፍናን ለመወሰን ሁለት አስፈላጊ መለኪያዎች ናቸው።
የአየር ብክለት በጣም እርጥብ ከሆነ (እንደ ዝናባማ ቀን)፣ እርጥበቱ ከተበከሉ ጋዞች ጋር በተወዳዳሪነት ሊዋሃድ ይችላል፣ነገር ግን ምላሹ ከተበላሸ፣እርጥበት ምላሽን በፍጥነት ይጨምራል።
የሙቀት መጠኑ እየጨመረ በሚሄድበት ጊዜ የሙቀት መጠኑ ላይ ተጽዕኖ ሊያሳድር ይችላል. ብክለትን ወደ ካርቦን ለመሳብ በጣም ከባድ ነው.
